碳化硅衬套的维护方法

碳化硅衬套具有电阻率稳定、抗氧化性好、高温强度高、加工性能好、使用寿命长的特点。本文主要分享碳化硅衬套的维护方法。

1.注意清洁。用注射器将大约30毫升的清洗液注入碳化硅衬套，以清洗衬套。当喷嘴喷出的清洗液没有明显的墨色时，停止清洗。

2.注意保护碳化硅套管的耐化学性。当碳化硅材料在氧气中烘烤到1300时，在碳化硅晶体表面形成二氧化硅保护层。随着保护层的增厚，内衬被阻止进一步粘合，从而内衬具有更好的耐化学性。当气温达到1900K以上时，二氧化硅的保护膜已被破坏，套管的结合效果增强。

3.尽量不要接近碳化硅衬套的高使用温度。反应烧结碳化硅衬套的最高使用温度为1380度。