碳化硅悬臂桨

悬臂桨性能稳定，在高温环境下不变形，承载晶片能力大。适用于机器人自动装载和搬运系统。由于悬臂桨叶的横截面稳定且不变形，因此可以使用现有的炉管制备更大的晶圆。悬臂桨叶的热膨胀系数与LPCVD涂层相似。应用于LPCVD时，大大延长了维护和清洁周期，大大减少了污染物。

特点：
1. 在高温环境下不变形，晶片承载能力大;
2. 耐极寒极热，使用寿命长;

3.悬臂桨叶的热膨胀系数极小，大大延长了维护和清洁周期。

尺寸范围

产品可做尺寸范围：
L2378mm
L2550mm
L2660mm

尺寸可以定制

产品应用

反应烧结碳化硅悬臂桨是半导体晶圆加工的关键部件。光伏新能源行业使用的碳化硅桨片，主要规格有2378 mm、2550 mm、2660 mm等。它用于在扩散炉中对多晶硅片或单晶硅片进行(扩散)涂层的过程中，在高温环境(1000—1300℃)下对硅片有承载和输送作用。

包装

我们会根据不同的产品，使用木质包装或纸质包装。根据您的产品，我们会量身定做合适的包装盒，通过泡沫间隔，并用排钉或胶带加以固定。